磁控离子溅射仪 型号:KM1-SBC-2000库号：M312284   

溅射靶头 低电压平面磁控溅射 输入电源 220V/100W（50/60Hz）

主机尺寸 260（L）×400（D）×365（H） 可用靶材 金、铂、银、铜、钯等

屏 7 英寸彩色触摸屏 靶材尺寸 φ57×0.12mm（标配）

真空室 ~φ130×130（H）mm 

真空泵 旋片泵（可选配干泵） 抽速 1.1L/s

真空泵尺寸 445（L）x144（D）x217（H） 真空泵电源 220V/400W（50/60Hz）

操作方式 一键操作 样品台 Φ64mm

工作电流 5-45mA 连续可调 工作时间 1-s 连续可调

保护 过流、真空保护 工作气体 空气/氩气

不锈钢波纹管 管路规格 KF16/25—800（L）mm