离子溅射仪（磁控） 型号:M363284可库号：M363284   

此款小型磁控离子溅射仪主要用于SEM制样样品镀导电膜（如金膜）或材料镀膜。采用磁控冷态溅射，基本不升温，保护样品。

1.样品室空间：直径150mm×120mm

2. 可配Pt靶（另购），靶材尺寸：φ50mm×0.1mm

3.真空控 制电路设计，实现真空度和溅射电流，互锁，可调电流40mA；

4.侵入式磁控低温离子源，可换靶材，环绕暗区护罩；

5.使用计|时控 制器，可调设置范围:1-500秒，连续可调

6.自动真空泄气，自动排气，可通过数字定时器进行控 制

7.真空泵，抽速8.5m3/h，可置于抗震台上

8.真空气阀：精度±0.1Pa